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天眼查专利专利详情

CN112936076A_一种晶圆光刻旋转设备

审中
专利申请流程有哪些步骤?
申请
申请号:指国家知识产权局受理一件专利申请时给予该专利申请的一个标示号码。唯一性原则。
申请日:提出专利申请之日。
2021-02-23
申请公布
申请公布指发明专利申请经初步审查合格后,自申请日(或优先权日)起18个月期满时的公布或根据申请人的请求提前进行的公布。
申请公布号:专利申请过程中,在尚未取得专利授权之前,国家专利局《专利公报》公开专利时的编号。
申请公布日:申请公开的日期,即在专利公报上予以公开的日期。
2021-06-11
授权
授权指对发明专利申请经实质审查没有发现驳回理由,授予发明专利权;或对实用新型或外观设计专利申请经初步审查没有发现驳回理由,授予实用新型专利权或外观设计专利权。
-
预估到期
发明专利权的期限为二十年,实用新型专利权期限为十年,外观设计专利权期限为十五年,均自申请日起计算。专利届满后法律终止保护。
2041-02-23
基本信息
申请号CN202110201519.6申请日2021-02-23
申请公布号CN112936076A申请公布日2021-06-11
授权公告号-授权公告日-
优先权号
专利优先权是指专利申请人就其发明创造第一次提出专利申请后,在法定期限内,又在中国以相同主题的发明创造提出专利申请的,根据有关法律规定,其在后申请以第一次专利申请的日期作为其优先权日,专利申请人依法享有的这种权利,就是优先权。
专利优先权的目的在于,避免在优先权日与实际申请日之间公开的技术内容影响本申请的新颖性和创造性。
-优先权日
专利优先权是指专利申请人就其发明创造第一次提出专利申请后,在法定期限内,又在中国以相同主题的发明创造提出专利申请的,根据有关法律规定,其在后申请以第一次专利申请的日期作为其优先权日,专利申请人依法享有的这种权利,就是优先权。
专利优先权的目的在于,避免在优先权日与实际申请日之间公开的技术内容影响本申请的新颖性和创造性。
-
分类号B24B29/04;B24B9/06;B24B41/06;B24B41/02;B24B55/00;B24B27/00
申请人信息
申请(专利权)人
晋美玉
发明人晋美玉
地址江西省吉安市青原区新工业园吉安市青原区志强电子发展有限公司邮编343000
代理人信息
代理机构
专利代理机构是经省专利管理局审核,国家知识产权局批准设立,可以接受委托人的委托,在委托权限范围内以委托人的名义办理专利申请或其他专利事务的服务机构。
-代理人
专利代理师是代理他人进行专利申请和办理其他专利事务,取得一定资格的人。
-
摘要
本发明公开了一种晶圆光刻旋转设备,其结构包括动力底座、机体、控制板,动力底座顶面与机体底面嵌固连接,控制板嵌入于机体正面,本发明通过旋转台来对晶圆进行固定并接受来自动力底座的动力带动晶圆片旋转,在进行固定的时候,可以通过移动夹头来进行锁定,并通过夹头上设有的多个侧顶柱来提供向内的压力,令贴合结构可以受压变形并贴合于晶圆表面,通过大气压差与磨平块产生的摩擦力来阻止晶圆产生滑动,并在旋转结束后,可以通过拉出晶圆来使压轮工作,将晶圆侧表面进行再次抛光处理,有效避免了晶圆在固定过程中侧表面由于过大的夹持力而产生凹痕的现象,保障了晶圆的侧壁光滑程度。
一种晶圆光刻旋转设备
法律状态
序号法律状态公告日法律状态法律状态信息
12021-07-02实质审查的生效实质审查的生效;IPC(主分类):B24B29/04;申请日:20210223
22021-06-11公布公布
权利要求
权利要求书是申请文件最核心的部分,是申请人向国家申请保护他的发明创造及划定保护范围的文件。
 
截止目前暂无权利要求信息
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