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CN110913558A_一种临近空间气压条件下高效射频等离子体放电装置在审

专利基本信息
申请号CN201911257161.8申请日2019-12-10
公开(公告)号CN110913558A公开(公告)日2020-03-24
申请公布号CN110913558A申请公布日2020-03-24
分类号H05H1/46分类其他类目不包含的电技术
发明人胡馨月;苌磊申请(专利权)人
代理机构
专利代理机构是经省专利管理局审核,国家知识产权局批准设立,可以接受委托人的委托,在委托权限范围内以委托人的名义办理专利申请或其他专利事务的服务机构。
要想区分是否属于正规的专利代理机构,可以到专利局网站上查询,有专门的专利代理信息页,还包括了正规专利代理机构中的违规行为的惩戒等。
成都瑞创华盛知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51270代理人
专利代理师是代理他人进行专利申请和办理其他专利事务,取得一定资格的人。专利代理师应具备一定的条件,经考核批准,由国家知识产权局颁发专利代理师资格证。
邓瑞;辜强
地址610065 四川省成都市武侯区一环路南一段24号
摘要本发明公开了一种临近空间气压条件下高效射频等离子体放电装置,包括石英管、一号螺旋电感天线、二号螺旋电感天线、阻抗匹配器和等离子体源,石英管的两端开口,石英管的一端与气源相接,石英管的另一端与真空泵相接,所述等离子体源与阻抗匹配器相连,阻抗匹配器设置于一号螺旋电感天线和二号螺旋电感天线相连的电路上,在阻抗匹配器与一号螺旋电感天线之间的电路上设有示波器;一号螺旋电感天线和二号螺旋电感天线分别以感性耦合方式螺旋缠绕在石英管上,所述一号螺旋电感天线和二号螺旋电感天线之间以容性耦合方式阻断,形成等离子体射流。本发明所述射频等离子体放电装置,在现有电源参数水平条件下,该天线可在0‑2500Pa稳定放电,电离效率高。
一种临近空间气压条件下高效射频等离子体放电装置
法律状态
序号法律状态公告日法律状态法律状态信息
12020-04-17实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H05H1/46
22020-03-24公开 公开
权利要求
权利要求书是申请文件最核心的部分,是申请人向国家申请保护他的发明创造及划定保护范围的文件。
 
截止目前暂无权利要求信息
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