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天眼查专利安集微电子(上海)有限公司专利详情

一种光刻胶的清洗液

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专利申请流程有哪些步骤?
申请
申请号:指国家知识产权局受理一件专利申请时给予该专利申请的一个标示号码。唯一性原则。
申请日:提出专利申请之日。
2010-07-23
申请公布
申请公布指发明专利申请经初步审查合格后,自申请日(或优先权日)起18个月期满时的公布或根据申请人的请求提前进行的公布。
申请公布号:专利申请过程中,在尚未取得专利授权之前,国家专利局《专利公报》公开专利时的编号。
申请公布日:申请公开的日期,即在专利公报上予以公开的日期。
2012-02-01
授权
授权指对发明专利申请经实质审查没有发现驳回理由,授予发明专利权;或对实用新型或外观设计专利申请经初步审查没有发现驳回理由,授予实用新型专利权或外观设计专利权。
2014-12-31
预估到期
发明专利权的期限为二十年,实用新型专利权期限为十年,外观设计专利权期限为十五年,均自申请日起计算。专利届满后法律终止保护。
2030-07-23
基本信息
申请号CN201010234683.9申请日2010-07-23
申请公布号CN102338994A申请公布日2012-02-01
授权公告号CN102338994B授权公告日2014-12-31
优先权号
专利优先权是指专利申请人就其发明创造第一次提出专利申请后,在法定期限内,又在中国以相同主题的发明创造提出专利申请的,根据有关法律规定,其在后申请以第一次专利申请的日期作为其优先权日,专利申请人依法享有的这种权利,就是优先权。
专利优先权的目的在于,避免在优先权日与实际申请日之间公开的技术内容影响本申请的新颖性和创造性。
-优先权日
专利优先权是指专利申请人就其发明创造第一次提出专利申请后,在法定期限内,又在中国以相同主题的发明创造提出专利申请的,根据有关法律规定,其在后申请以第一次专利申请的日期作为其优先权日,专利申请人依法享有的这种权利,就是优先权。
专利优先权的目的在于,避免在优先权日与实际申请日之间公开的技术内容影响本申请的新颖性和创造性。
-
分类号G03F7/42
申请人信息
申请(专利权)人发明人刘兵;彭洪修;孙广胜
地址上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室邮编201203
代理人信息
代理机构
专利代理机构是经省专利管理局审核,国家知识产权局批准设立,可以接受委托人的委托,在委托权限范围内以委托人的名义办理专利申请或其他专利事务的服务机构。
上海翰鸿律师事务所代理人
专利代理师是代理他人进行专利申请和办理其他专利事务,取得一定资格的人。
安集微电子(上海)有限公司
摘要
本发明公开了一种低蚀刻性的适用于较厚光刻胶清洗的清洗液。这种低蚀刻性的光刻胶清洗液含有(a)氢氧化钾,(b)吡咯烷酮类溶剂,(c)季戊四醇,(d)醇胺,(e)间苯二酚。这种低蚀刻性的光刻胶清洗剂可以用于除去金属、金属合金或电介质基材上的光刻胶和其它残留物,同时对于Cu(铜)等金属具有较低的蚀刻速率,在半导体晶片清洗等微电子领域具有良好的应用前景。
一种光刻胶的清洗液
法律状态
序号法律状态公告日法律状态法律状态信息
12013-07-17实质审查的生效实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/42申请日:20100723
22012-02-01公布公开
32014-12-31授权授权
权利要求
权利要求书是申请文件最核心的部分,是申请人向国家申请保护他的发明创造及划定保护范围的文件。

1. 一种光刻胶清洗液,其包含: (a) 氢氧化钾,所述的氢氧化钾的含量为质量百分比0. 1〜10%, (b) 吡咯烷酮类溶剂,所述的吡咯烷酮类溶剂的含量为质量百分比10〜90%, (c) 季戊四醇,所述的季戊四醇的含量为质量百分比0. 1〜15% (d) 醇胺,所述的醇胺的含量为质量百分比0. 1〜55% (e) 间苯二酚,所述的间苯二酚的含量为质量百分比0. 1〜10%。

2. 如权利要求1所述的清洗液,其特征在于:所述的清洗液还包含其它助溶剂。

3. 如权利要求2所述的清洗液,其特征在于:所述的其它助溶剂的含量为质量百分比 不超过85%。

4. 如权利要求1所述的清洗液,其特征在于:所述的吡咯烷酮类溶剂选自N-甲基吡咯 烷酮、N-乙基吡咯烷酮、N-羟乙基吡咯烷酮和N-环己基吡咯烷酮中的一种或多种。

5. 如权利要求1所述的清洗液,其特征在于:所述的醇胺选自单乙醇胺、二乙醇胺、三 乙醇胺、正丙醇胺、异丙醇胺、2_(二乙氨基)乙醇、乙基二乙醇胺和二甘醇胺中的一种或几 种。

6. 如权利要求2所述的清洗液,其特征在于:所述的其它助溶剂选自亚砜、砜、咪唑烷 酮、咪唑啉酮、醇、醚和酰胺中的一种或多种。

7. 如权利要求6所述的清洗液,其特征在于:所述的亚砜为二甲基亚砜;所述的砜为环 丁砜;所述的咪唑烷酮为1,3-二甲基-2-咪唑烷酮;所述的咪唑啉酮为1,3-二甲基-2-咪 唑啉酮;所述的酰胺为二甲基甲酰胺和/或二甲基乙酰胺;所述的醇为丙二醇和/或二乙 二醇;所述的醚为丙二醇单甲醚和/或二丙二醇单甲醚。

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