天眼查logo
国家中小企业发展子基金旗下
官方备案企业征信机构

天眼查专利上海华虹宏力半导体制造有限公司专利详情

在手机上查看 专利详情

CN112164664A_不同膜厚一次工艺生长的装置及方法在审

专利基本信息
申请号CN202011052436.7申请日2020-09-29
公开(公告)号CN112164664A公开(公告)日2021-01-01
申请公布号CN112164664A申请公布日2021-01-01
分类号H01L21/67;H01L21/02分类基本电气元件
发明人陈广伦;张凌越;姜波申请(专利权)人
代理机构
专利代理机构是经省专利管理局审核,国家知识产权局批准设立,可以接受委托人的委托,在委托权限范围内以委托人的名义办理专利申请或其他专利事务的服务机构。
要想区分是否属于正规的专利代理机构,可以到专利局网站上查询,有专门的专利代理信息页,还包括了正规专利代理机构中的违规行为的惩戒等。
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人
专利代理师是代理他人进行专利申请和办理其他专利事务,取得一定资格的人。专利代理师应具备一定的条件,经考核批准,由国家知识产权局颁发专利代理师资格证。
曹廷廷
地址201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
摘要本申请实施例公开了一种用于一次炉管薄膜氧化工艺中获得不同膜厚的工艺生长装置与方法,其中所述方法包括:将若干晶圆按照预设的大片间距和小片间距装载于晶舟上,以在一次炉管薄膜氧化工艺中对所述大片间距和所述小片间距的晶圆进行膜厚生长,所述大片间距和所述小片间距均为所述晶舟上相邻晶圆之间的间距。这样能保证在一次炉管薄膜氧化工艺中实现不同氧化层膜厚的生长,从而避免了机台产能浪费、DOE实验的效率受影响等问题。
不同膜厚一次工艺生长的装置及方法
法律状态
序号法律状态公告日法律状态法律状态信息
12021-01-01公开公开
权利要求
权利要求书是申请文件最核心的部分,是申请人向国家申请保护他的发明创造及划定保护范围的文件。
 
截止目前暂无权利要求信息
说明书
小程序
天眼查小程序
APP
天眼查APP
微信
天眼查微信公众号
反馈
客服
置顶
天眼查客服:400-608-0000
版权所有:北京天眼查科技有限公司 ©2020 TIANYANCHA 京ICP备14061319号-2  增值电信业务经营许可证:京B2-20181511 
违法和不良信息举报电话:400-608-0000
举报邮箱:jubao@tianyancha.com