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天眼查专利中芯集成电路制造(绍兴)有限公司专利详情

芯片间的导电桥及其制造方法、芯片测试方法

有效
专利申请流程有哪些步骤?
申请
申请号:指国家知识产权局受理一件专利申请时给予该专利申请的一个标示号码。唯一性原则。
申请日:提出专利申请之日。
2021-06-17
申请公布
申请公布指发明专利申请经初步审查合格后,自申请日(或优先权日)起18个月期满时的公布或根据申请人的请求提前进行的公布。
申请公布号:专利申请过程中,在尚未取得专利授权之前,国家专利局《专利公报》公开专利时的编号。
申请公布日:申请公开的日期,即在专利公报上予以公开的日期。
2021-07-16
授权
授权指对发明专利申请经实质审查没有发现驳回理由,授予发明专利权;或对实用新型或外观设计专利申请经初步审查没有发现驳回理由,授予实用新型专利权或外观设计专利权。
2021-10-01
预估到期
发明专利权的期限为二十年,实用新型专利权期限为十年,外观设计专利权期限为十五年,均自申请日起计算。专利届满后法律终止保护。
2041-06-17
基本信息
申请号CN202110669407.3申请日2021-06-17
申请公布号CN113130343A申请公布日2021-07-16
授权公告号CN113130343B授权公告日2021-10-01
优先权号
专利优先权是指专利申请人就其发明创造第一次提出专利申请后,在法定期限内,又在中国以相同主题的发明创造提出专利申请的,根据有关法律规定,其在后申请以第一次专利申请的日期作为其优先权日,专利申请人依法享有的这种权利,就是优先权。
专利优先权的目的在于,避免在优先权日与实际申请日之间公开的技术内容影响本申请的新颖性和创造性。
-优先权日
专利优先权是指专利申请人就其发明创造第一次提出专利申请后,在法定期限内,又在中国以相同主题的发明创造提出专利申请的,根据有关法律规定,其在后申请以第一次专利申请的日期作为其优先权日,专利申请人依法享有的这种权利,就是优先权。
专利优先权的目的在于,避免在优先权日与实际申请日之间公开的技术内容影响本申请的新颖性和创造性。
-
分类号
B81B7/02
B 作业;运输
B81 微观结构技术〔7〕
B81B 微观结构的装置或系统,例如微观机械装置(压电元件、电致伸缩元件或磁致伸缩元件本身入H01L41/00)〔7〕
B81B7/00 微观结构系统〔7〕
B81B7/02 ·包括功能上有特定关系的不同的电或光学装置,例如微—电子—机械系统(MEMS)(B81B7/04优先)〔7〕
H01L21/66
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类)〔2〕
H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2,8〕
H01L21/66 ·在制造或处理过程中的测试或测量〔2〕
申请人信息
申请(专利权)人发明人徐希锐
地址浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号邮编312000
代理人信息
代理机构
专利代理机构是经省专利管理局审核,国家知识产权局批准设立,可以接受委托人的委托,在委托权限范围内以委托人的名义办理专利申请或其他专利事务的服务机构。
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人
专利代理师是代理他人进行专利申请和办理其他专利事务,取得一定资格的人。
田婷
摘要
本发明提供了一种芯片间的导电桥及其制造方法、芯片测试方法,可以在桥接区域中的待刻蚀层和桥面结构中的至少一层中刻蚀形成开口,在光刻胶涂覆和显影时,该开口可以确保桥面结构顶面上的光刻胶以合适的厚度、宽度以及较佳的形貌被有效保留下来(因为开口可以使得其中的光刻胶不被甩出),进而在以该光刻胶层为掩膜刻蚀待刻蚀层而形成导电桥时,光刻胶可以有效保护桥面结构及其顶面上的待刻蚀层,进而达到所需的导电桥形貌和宽度,性能可靠,避免形成的导电桥出现短路和断路的情况,进而减少芯片测试的误判现象。此外,通过导电桥的电传导作用,对导电桥电性连接的所有芯片一起进行点测,测试效率高。
芯片间的导电桥及其制造方法、芯片测试方法
法律状态
序号法律状态公告日法律状态法律状态信息
12021-10-01授权授权
22021-08-20著录事项变更著录事项变更;IPC(主分类):H01L21/66;变更事项:申请人;变更前:中芯集成电路制造(绍兴)有限公司;变更后:绍兴中芯集成电路制造股份有限公司;变更事项:地址;变更前:312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号;变更后:312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号
32021-08-03实质审查的生效实质审查的生效;IPC(主分类):H01L21/66;申请日:20210617
42021-07-16公布公布
权利要求
权利要求书是申请文件最核心的部分,是申请人向国家申请保护他的发明创造及划定保护范围的文件。
 
截止目前暂无权利要求信息
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