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天眼查专利台湾积体电路制造股份有限公司专利详情

极紫外光微影设备、标靶材料供应系统与方法

审中
专利申请流程有哪些步骤?
申请
申请号:指国家知识产权局受理一件专利申请时给予该专利申请的一个标示号码。唯一性原则。
申请日:提出专利申请之日。
2017-08-24
申请公布
申请公布指发明专利申请经初步审查合格后,自申请日(或优先权日)起18个月期满时的公布或根据申请人的请求提前进行的公布。
申请公布号:专利申请过程中,在尚未取得专利授权之前,国家专利局《专利公报》公开专利时的编号。
申请公布日:申请公开的日期,即在专利公报上予以公开的日期。
2019-03-05
授权
授权指对发明专利申请经实质审查没有发现驳回理由,授予发明专利权;或对实用新型或外观设计专利申请经初步审查没有发现驳回理由,授予实用新型专利权或外观设计专利权。
-
预估到期
发明专利权的期限为二十年,实用新型专利权期限为十年,外观设计专利权期限为十五年,均自申请日起计算。专利届满后法律终止保护。
2037-08-24
基本信息
申请号CN201710735382.6申请日2017-08-24
申请公布号CN109426084A申请公布日2019-03-05
授权公告号CN109426084B授权公告日2021-07-16
优先权号
专利优先权是指专利申请人就其发明创造第一次提出专利申请后,在法定期限内,又在中国以相同主题的发明创造提出专利申请的,根据有关法律规定,其在后申请以第一次专利申请的日期作为其优先权日,专利申请人依法享有的这种权利,就是优先权。
专利优先权的目的在于,避免在优先权日与实际申请日之间公开的技术内容影响本申请的新颖性和创造性。
-优先权日
专利优先权是指专利申请人就其发明创造第一次提出专利申请后,在法定期限内,又在中国以相同主题的发明创造提出专利申请的,根据有关法律规定,其在后申请以第一次专利申请的日期作为其优先权日,专利申请人依法享有的这种权利,就是优先权。
专利优先权的目的在于,避免在优先权日与实际申请日之间公开的技术内容影响本申请的新颖性和创造性。
-
分类号
G03F7/20
G 物理
G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备(照相排版装置入B41B;为摄影用的感光材料或处理入G03C;电记录、感光层或处理入G03G)
G03F7/00 图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备(用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置,例如,B44C,H01L,例如,H01L21/00,H05K)〔3,5〕
G03F7/20 ·曝光及其设备(复制用照相印制设备入G03B27/00)〔4〕
申请人信息
申请(专利权)人发明人赖韦志; 郑力凯; 张汉龙; 刘柏村; 陈立锐
地址中国台湾新竹市邮编-
代理人信息
代理机构
专利代理机构是经省专利管理局审核,国家知识产权局批准设立,可以接受委托人的委托,在委托权限范围内以委托人的名义办理专利申请或其他专利事务的服务机构。
隆天知识产权代理有限公司代理人
专利代理师是代理他人进行专利申请和办理其他专利事务,取得一定资格的人。
台湾积体电路制造股份有限公司
摘要
本公开提供一种标靶材料供应系统,包括一标靶液滴产生器、一标靶液滴收集器及一标靶材料处理装置。标靶液滴产生器配置以产生多个标靶液滴,可供一极紫外光微影设备利用以产生极紫外光。标靶液滴收集器配置以收集上述标靶液滴的未被利用部分。标靶材料处理装置配置以将一熔融状态的一标靶材料供应至标靶液滴产生器,及配置以将从标靶液滴收集器回收的标靶液滴的未被利用部分重新供应至标靶液滴产生器。
极紫外光微影设备、标靶材料供应系统与方法
法律状态
序号法律状态公告日法律状态法律状态信息
12019-03-05公布公开
权利要求
权利要求书是申请文件最核心的部分,是申请人向国家申请保护他的发明创造及划定保护范围的文件。
 
截止目前暂无权利要求信息
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